半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
品牌历史背景
该半导体行业商家应用于长半圆东南部,关键种植84英尺和124英尺晶圆,日进行排放量废蓄水量约2000吨。原因种植加工比较复杂,废池中有效很多难可降解巧妙物和巨资属阴离子,传统的处理方案无发实现亟须坚持原则的进行排放量规范。
废水处理含量及主要来源
污水大部分来源自于于六个缓解:晶圆锯开污水具有过量硅粉和锯开液残余物;化学物质自动化机械拋光污水比较丰富电解质溶液硅和精磨科粒;刻蚀清洁工作污水具有氟化物、铜阴离子等血本属;光刻生产技术污水则具有光阻剂等无机生态破坏物。水硬度特征 是COD高(800-1500mg/L)、氟化物酸度高(200-400mg/L)、透明桌面物多且具有微量分析血本属。
治疗方法步奏
利用"化学预治理 +生化学治理 +长度治理 "的搭配组合工序:
调高池义均水源供水量
混泥土积累彻底清除悬浮按钮物和固体材料
化学上的乳浊液法特地正确处理氟化物,加药钙盐建立氟化钙乳浊液
溶解酸性反应池提升 工业废水可生物化性
学习氧化物池吸附无机环境有害物质
活性氧炭吸出塔使用广度处置
膜脱离设计确定出水量生活饮用水保持稳定
涉及含铜工业废水另外安装阴阳离子变换体统,收旧有实际价值的合金金属铜。
终极使用效果
内容建好后运作稳定的,出水出水COD<50mg/L,氟化物浓度值值<5mg/L,铜阴离子浓度值值<0.3mg/L,相关要求均具有发展中国家《电子元器件化工水严重污染源尾气摆放条件》(GB 39731-2020)。第一年可增多COD尾气摆放约300吨,氟化物尾气摆放约50吨,出售铜彩石约2吨,实行了生态经济发展收益与经济发展经济发展收益的互赢。