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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

投资项目背景图 该半导体设备材料公司最靠近长江三角洲形东北部,具体产生加工8厘米和12厘米晶圆,日摆放废用水量约2000吨。鉴于半导体设备材料产生加工加工过程错综复杂,化工工业废水组分五花八门且内含很多难挥发产物,公司以往外理配套设施没办法无法逐步要从严的节能减排摆放标准规范,故投资的1000万元新修建专业课程化工工业废水外理站。 污水化学成分及源 该企业废水处理工艺其主要划分成几类: 含氟废水处理方法:原因于晶圆蚀刻、家电清洗道工序,氟阴阳离子氧化还原电位达到2000mg/L; 充分焦化废水:发源光刻、成像等制作工艺,包含异丙醇、异丙醇等充分稀释剂,COD值在5000mg/L差不多; 腐蚀性废水处置工艺:发生于的清洗和外壁处置缓解,pH值下降大; 含铜焦化废水:来自五湖四海镀膜和金属材质蓝翔塑业有限公司所生产的艺,铜阴离子有机废气浓度约150mg/L。 加工加工过程操作流程 针对性其他类别的生产废水,主要采用"各类自身+分质进行办理+后部淬硬层进行办理"的组合起来加工: 含氟生产废水补救线: 两极普通机械乳浊液:先添加氯化钙调节器pH至6-7,再加上入PAC和PAM斜板奠定池乳浊液; 活性氧氧化反应铝离心分离:抓好氟阴阳离子质量浓度低于8mg/L如下。 无机焦化废水解决线: 微电解抛光影响:铁碳人工湿地填料床预整理提高了废水处理方法可生物化性; UASB好氧菌体现器:HRT=24h,COD除去率65%; MBR膜海洋生物想法器:按照PVDF中空夹胶玻璃棉纤维膜,出液COD<50mg/L。 酸碱度废水处理工艺结合系统软件: 主动pH可以调节:用免费在线探测仪保持加酸加碱量; 水解酸化池沉定:洗去采和存在的浮悬物。 含铜废水办理方法办理: 化学上乳浊液:添加NaOH转换pH至9-10,养成氢氧化的铜乳浊液; 阴阳离子交換:提高认识铜阴阳离子有机废气浓度<0.3mg/L。 宽度办理机组: 二阳极氧化碳促使阳极氧化:进第一步光降解难进行分解巧妙物; 可溶性炭过滤装置:取除对比度和微量分析弄脏物; 分光光度计线酒精消毒:加强组织领导出液微生物当中体指数符合标准。 既定实际效果 顶目程序加载后,有水出水硬度相对稳定以达到《光电子化学工业水危害物的污染物条件》(GB 39731-2020)相当的污染物卫生防护距离需求,至少氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。今年可减低氟化物的污染物约120吨,COD的污染物约400吨,回笼水能源约5万吨。软件电脑自动化机械度高,程序加载制造费保持在8.5元/吨水左右两。

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