某半导体材料生产制造行业因晶圆的清洗多种工序发生含氨废液,出水量200吨/天。废液中除挥发酚外还包含的氟化物和微量分析天价属,净化处理一定的难度大。本市的排放标淮规范要求挥发酚<5mg/L,氟化物<3mg/L。
工业废水化学成分及源头
晶圆清理废水处理(注意来自):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀多种工序废水处理方法:含轻微铜、镍等巨资属,pH值下跌大
CMP研磨机电镀废水:含硅颗粒肥料及化学需氧量
加工新工艺具体流程
选取"无机化学石雕文化沉淀+膜分離+折点氯化"女子组合流程:
预净化处理
:添加CaCl2除氟,调控pH在7.5-8.
反渗透装置系统软件
:剔除0.01μm上文顆粒物
反融于浓缩液
:将高锰酸盐指数沉淀至1000mg/L以上的
折点氯化
:透彻管控氯加药系统量,将氧化还原电位和转化了为氢气
阳离子更换
:有效保障高价属未达标
进而目的
氧化还原电位稳定性高<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属含氧量降到检查限
水循环率达75%
污泥处理形成量变少40%