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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆生产加工线相互配套的超超纯水系统的,一天会产生含硅废水治理 施工工艺150吨。废水治理 施工工艺中虽无血本属,但硅份量高易水垢,且热敏电阻率需提高18MΩ·cm也能使用。以往治理 施工工艺是没办法考虑新颁发的《光电工业化的水环境有机废气尾气废气准则》(GB39731-2020)尤其是尾气废气最大限度。 工业废水化学成分结构特征 大部分环境破坏物 :溶液硅(200-300mg/L)、顆粒硅(粒级0.1-1μm) 异常规定要求 :TOC<10μg/L,硼含铁<5μg/L 土质功能 :低电阻率(<50μS/cm)但硅氧化物形式复杂性 治理加工过程鑫霖环保 创新性运用"梯级膜分离法+电去化合物"团体工艺设计: 微滤预整理 :1μm瓷质膜屏蔽大顆粒硅,通量恢复80LMH 阴离子更换环氧树脂 :D201大孔硅胶粘合剂选用性吸咐硅酸分子式 中级RO系统 :独一段回收公司率60%,第一段使用高脱硼膜器件 EDI电去化合物 :电压电流强度2A/m²,将持续删去残渣阳离子 紫外线消毒杀菌 :254nmUV太阳中的紫外线线极量40mJ/cm² 水平闪光点 设计规划转用阻硅剂(设计胺类分手后复合物),延迟膜环保问题期3倍 EDI功能模块自主创新流道设汁,硅清除率提升自己至99.8% 高清在线硅具体检测仪(检测领域0.1-500μg/L)保证 脱贫攻坚控住 运营预期效果 经其三通在线检测: 总硅从280mg/L降低0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L降到0.3μg/L 体统出售率从原40%提升自己至68% 膜换个周期怎么算延伸至5年,年工作成本投入降底35%

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