该晶圆出产出产厂家座落在西北的地区,主耍出产84英寸半导晶圆,日访问量加工废水摆放口量约800吨。因此出产的过程 中适用更多氢氧化钠来进行晶圆蚀刻,造成的加工废底层的水中氟化物氧浓度高达模型200-300mg/L,远超地方摆放口标准规定(10mg/L以內)。
生活污水组成及來源
工业废水基本来源于三大方式:
晶圆蚀刻工步
:含高含量氟化物(HF)、硝酸银及少量出天价属
化学式机诫拋光(CMP)废渣
:含纳米技术级硅粒子、巧妙络合剂
环保设备刷洗废渣
:含异丙醇、挥发酚等无机物
工作工序程序
适用"检查是否石雕文化沉定+混泥土石雕文化沉定+层次过滤水"三类正确处理程序:
考试内容一级净化处理
:添加氯化钙和氢防氧化钙,变成氟化钙结晶,氟化物彻底清除率达85%
三级外理
:增加PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),删去溶液态造成的废弃物
三级分销处理
:顺利通过多物料滤芯过滤器器和特异性炭吸附性,喷水氟化物浓硫酸浓度平稳在8mg/L下列
最为关键的设施收录:pH全自动转换平台、斜管沉淀物池、板框设备(淤泥缺水)。
最终能够使用效果
建设项目加载两年监测站数据信息显示信息:
氟化物平均的质量浓度:7.2mg/L(高出国家地区标)
COD出掉率:92%
活性污泥含水量率:≤65%
年回收并氟化钙副设备约150吨,满足資源化运用