该项目时代背景
该半导体器件生产制造加工物流居民小区处于华南地区划分,总投入超200多亿,大地方生产制造12英尺晶圆和为先进封装形式产品的。物流居民小区日摆放废出水量约5000吨,主要包括多样流程污废水 补救工艺,补救难易度大。产品特殊要求污废水 补救工艺补救后达成《电子元器件化工业水影响物摆放标准的》(GB 39731-2020)越来越摆放允许值,地方造纸废水处理率不不超过60%。
废水处理工艺基本成分及主要来源
含氟焦化废水:常见是来自于晶圆蚀刻、擦洗生产工序,氟正离子质量浓度万代高达200-500mg/L,pH值冲击大
巧妙污废水 :光刻、定影、去胶等工艺生成,COD溶液浓度300-800mg/L,有异丙醇、二甲苯等巧妙石油醚
含铜废气:塑胶电镀、物理化学机械厂打磨抛光(CMP)繁琐流程引起,铜亚铁离子有机废气浓度50-150mg/L
耐酸碱焦化废水:机除污、废水洗涤剂等方式带来,pH值在2-12中上下波动
考虑电镀废水:CMP工艺技术引发,富含纳米级级二氧化的硅颗料
外理工艺设备工作流程
用于"分类别整理+分质外理+淬硬层油烟净化"的团体工艺流程:
含氟废液治理线
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多级耐腐蚀奠定:先加药系统氯化钙调节器pH至6-7,加个入PAC和PAM斜板发展池奠定
渗透性脱色铝吸附剂:确保安全生产氟铝离子盐浓度降下来5mg/L下类
飞灰经板框压滤后请求技术外理
可挥发生活污水治疗线
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微电解设备抛光预解决:铁碳微电解设备抛光可降解大脂溶性巧妙物
UASB好氧池发应器:HRT=24h,COD的还原率>60%
MBR膜生物工程想法器:分为PVDF中空中纤维素膜,通量15LMH
含铜污水处置线
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无机化学结晶:加药NaOH可以调节pH至9-10,组成Cu(OH)2结晶
铁化合物交易:有级树酯交易保障铜铁化合物<0.3mg/L
电解设备法环保再生资源回收利用:那部分废水处理经电解设备法环保再生资源回收利用金属质铜
综和处理系統
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调接池:平衡水质标准用水量,设暴气鑫霖环保
混泥土发展:添加和好斜板沉淀池剂去掉胶体溶液物品
嗅氧催化反应氧化物:光可降解难光可降解有机酸物
反融于系统化:脱盐率>98%,产水造纸废水处理于的自动化生产线
淤泥加工系统性
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厌氧颗粒污泥浓缩提炼池:固态物酸度从1%大幅提升至3%
离心分离脱水情况:放入PAM调里,泥饼含水分率<75%
地温干化:个部分废水干化至含水量率30%下列
从而效果好
业务竣工作业后,那项完成指标相对稳定及格:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜阴离子<0.3mg/L、pH 6-9。使用热水水的硬度符合GB/T 19923-2005工业化用热水标准的,使用率65%,次年业绩新鲜度水储电量约1二十万吨。污泥干化形成量以减少40%,危险性废物回收处里成本价调低35%。软件系统半自动化系统层度高,同屏在线检测数据显示与健康单位立即连机。