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半导体生产废水处理案例|半导体生产废水处理方法

该项目时代背景 该半导体器件生产制造加工物流居民小区处于华南地区划分,总投入超200多亿,大地方生产制造12英尺晶圆和为先进封装形式产品的。物流居民小区日摆放废出水量约5000吨,主要包括多样流程污废水 补救工艺,补救难易度大。产品特殊要求污废水 补救工艺补救后达成《电子元器件化工业水影响物摆放标准的》(GB 39731-2020)越来越摆放允许值,地方造纸废水处理率不不超过60%。 废水处理工艺基本成分及主要来源 含氟焦化废水:常见是来自于晶圆蚀刻、擦洗生产工序,氟正离子质量浓度万代高达200-500mg/L,pH值冲击大 巧妙污废水 :光刻、定影、去胶等工艺生成,COD溶液浓度300-800mg/L,有异丙醇、二甲苯等巧妙石油醚 含铜废气:塑胶电镀、物理化学机械厂打磨抛光(CMP)繁琐流程引起,铜亚铁离子有机废气浓度50-150mg/L 耐酸碱焦化废水:机除污、废水洗涤剂等方式带来,pH值在2-12中上下波动 考虑电镀废水:CMP工艺技术引发,富含纳米级级二氧化的硅颗料 外理工艺设备工作流程 用于"分类别整理+分质外理+淬硬层油烟净化"的团体工艺流程: 含氟废液治理线 : 多级耐腐蚀奠定:先加药系统氯化钙调节器pH至6-7,加个入PAC和PAM斜板发展池奠定 渗透性脱色铝吸附剂:确保安全生产氟铝离子盐浓度降下来5mg/L下类 飞灰经板框压滤后请求技术外理 可挥发生活污水治疗线 : 微电解设备抛光预解决:铁碳微电解设备抛光可降解大脂溶性巧妙物 UASB好氧池发应器:HRT=24h,COD的还原率>60% MBR膜生物工程想法器:分为PVDF中空中纤维素膜,通量15LMH 含铜污水处置线 : 无机化学结晶:加药NaOH可以调节pH至9-10,组成Cu(OH)2结晶 铁化合物交易:有级树酯交易保障铜铁化合物<0.3mg/L 电解设备法环保再生资源回收利用:那部分废水处理经电解设备法环保再生资源回收利用金属质铜 综和处理系統 : 调接池:平衡水质标准用水量,设暴气鑫霖环保 混泥土发展:添加和好斜板沉淀池剂去掉胶体溶液物品 嗅氧催化反应氧化物:光可降解难光可降解有机酸物 反融于系统化:脱盐率>98%,产水造纸废水处理于的自动化生产线 淤泥加工系统性 : 厌氧颗粒污泥浓缩提炼池:固态物酸度从1%大幅提升至3% 离心分离脱水情况:放入PAM调里,泥饼含水分率<75% 地温干化:个部分废水干化至含水量率30%下列 从而效果好 业务竣工作业后,那项完成指标相对稳定及格:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜阴离子<0.3mg/L、pH 6-9。使用热水水的硬度符合GB/T 19923-2005工业化用热水标准的,使用率65%,次年业绩新鲜度水储电量约1二十万吨。污泥干化形成量以减少40%,危险性废物回收处里成本价调低35%。软件系统半自动化系统层度高,同屏在线检测数据显示与健康单位立即连机。

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