产品题材
某巨型半导加工各个客户座落长江三角洲型国家,通常的制造晶圆和电源芯片。在的制造历程中,晶圆切割工作和抛光工作步骤制造过多粉磨液生产废水,每日的用水量上涨约50吨。伴随生产废水里面的包含高密度悬停物、不锈钢化合物及有机酸增添剂,同时的的排放会对生活环境引致较为严重的污染,各个客户继续购买专用汽车开发技术工作的设施。
废气成份及来原
机磨液废渣其大部分出自于晶圆处理中的化学上的厂家cnc精密机械加工(CMP)制作工序,其大部分破坏物有:
浮悬粒子物
:二空气被氧化硅、空气被氧化铝粉等考虑科粒,粒度分布在0.1-1μm,浓度值高达hg2000mg/L。
重金属阴阳离子
:铜、铁、锌等,是来自于磨光垫轮胎磨损及晶圆表层材料层,铜化合物氧化还原电位约50mg/L。
有机的放入剂
:也包括外面活力性剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强酸碱度物资
:pH值浮动大,大多数在2-11间。
解决生产技术步奏
对废渣属性,选取“预处置+血生化+长度处置”组成流程:
设定池
:稳定水质监测发电量,增添强酸强碱上下调整pH至普通。
水泥混凝土沉积
:加药PAC(缔合氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),清掉自动隐藏物和胶体溶液,沉降后SS清掉率>90%。
促使阳极氧化
:进行Fenton免疫试剂(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料有机肥料添加图片剂,COD避开率达60%。
生物制品处置
:MBR膜生态学的管式反应器进这一步挥发其他有机化学物,COD高于100mg/L一下。
阳离子交互
:上用环氧树脂粘附铜阳离子,冒水铜含水量<0.5mg/L。
砂滤+灵活性炭吸附油烟净化器
:抓好水流清清的,提高《污水渗漏綜合污染物基准》(GB8978-1996)1阶段基准。
从而目的
系统性启用不稳定性后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阳离子<0.3mg/L。
使用率达40%,其他达到标准排污,年减小废水处理工艺排污1.6万吨。
治理价格约15元/吨,远高于业内均匀。